氯化氢气体

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       氯化氢产品工艺为专利产品,拥有自主知识产权,化学级氯化氢主要应用于医药中间体、农药中间体以及精细化学品制造业。

       电子级(VLSI)氯化氢主要应用于半导体器件生产中单晶片的气相抛光、外延基座腐蚀及硬质合金制造。

       5.0N电子级(VLSI)氯化氢产品分别经国家标准物质研究中心和信息产业部专用材料质量监督检验中心抽样检查,纯度大于99.999%总杂质小于5ppm。5.0N电子级(VLSI)氯化氢经国内外多家半导体重点企业连续大量在单晶片气相抛光和外延基座腐蚀工艺中广泛使用,产品质量过关。

       氯化氢产品参照SEMIC3.35-1101HCL标准,并执行国家标准GB/T24469-2009(电子级)和企业标准Q/SDXL002-2015(化学级)。

       氯化氢产品采用HCL专用钢瓶包装,钢瓶符合国标GB5099-1994或DOT3AA标准,瓶阀为316L不锈钢隔膜式阀,接口为CGA330。

 



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